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半導體超純水設備是一種結合反滲透技術和EDI技術的水處理設備。該設備可去除水中的導電介質(zhì)有機物。不溶性膠體及其化學雜質(zhì)。廣泛應用于半導體材料、電池、電路板等電子行業(yè)。由于使用行業(yè)對水質(zhì)的特殊要求,應注意日常維護。以下是半導體超純水設備的技術維護方法。
由于生產(chǎn)過程中出現(xiàn)波動,必須采取保護措施,波動過程中處理不當會導致膜性能下降。
1.15d以下的系統(tǒng)短期保存,每1~3d低壓沖洗可采用保護反滲透設備的方法。
2.停機15d以上的系統(tǒng)為長期停機保護,反滲透裝置必須用保護液(殺菌劑)充入凈水設備。
在半導體超純水設備的運行過程中,反滲透裝置的脫鹽率可能會下降,水力下降。
壓差上升,甚至對薄膜造成不可恢復的損傷。這是因為反滲透膜可能被無機污垢、膠體、微生物、金屬氧化物等污染。因此,為了恢復良好的透水性和鹽去除性能,需要對薄膜進行化學清洗,一般每3~12個月清洗一次。
許多用戶在使用超純水設備時,會非常注意如何正確使用設備,如何維護超純水設備,以下是如何正確使用超純水設備。
使用超純水設備制備超純水時,首先檢查設備各部分及其連接管之間是否有異常。設備檢測正確后,打開總電源開關,逐步打開原水閥,然后打開高壓泵,聽設備運行異常,觀察蜂房過濾器?;钚蕴窟^濾器,壓縮活性炭過濾器,安全過濾器。
反滲透系統(tǒng)進出口的水壓,必須確保各過濾設備的進出口水壓差在合理范圍內(nèi),并控制反滲透水。中斷和濃水的壓力也在合理范圍內(nèi),才能正式投入使用。
使用時,打開一個出水閥,控制混合床的進出水壓力。精密過濾器的壓力在要求范圍內(nèi),以確保出水電阻率大于10mΩ·cm。在此過程中,我們需要注意觀察春季水槽中的儲水情況,以免因抽水或儲水過多而導致水質(zhì)惡化,從而影響混合床樹脂的使用壽命。