當(dāng)活性炭的吸附程度達(dá)到飽和狀態(tài)時(shí)，超純水設(shè)備凈化泥沙和吸附質(zhì)的能力將明顯下降，從而影響超純水的水質(zhì)，進(jìn)而影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果或相關(guān)工業(yè)生產(chǎn)。

    1、熱再生法。超純水設(shè)備使用一段時(shí)間后，活性炭中含有一定的有機(jī)物。我們可以根據(jù)加熱到不同溫度時(shí)有機(jī)物的變化來(lái)處理活性炭中的有機(jī)物，一般分為干燥、高溫炭化及活化三個(gè)階段。熱再生法雖然有再生效率高、應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)，但在再生過(guò)程中，須外加能源加熱，投資及運(yùn)行費(fèi)用較高。

    2、生物再生法。生物再生法是利用經(jīng)馴化過(guò)的細(xì)菌，解析活性炭上吸附的有機(jī)物，并進(jìn)一步消化分解成H2O和CO2的過(guò)程。生物法簡(jiǎn)單易行，投資和運(yùn)行費(fèi)用較低，但所需時(shí)間較長(zhǎng)，受水質(zhì)和溫度的影響很大。

    3、濕式氧化再生法。在高溫高壓的條件下，用氧氣或空氣作為氧化劑，將處于液相狀態(tài)下活性炭上吸附的有機(jī)物氧化分解成小分子的一種處理方法，稱為濕式氧化再生法。

    4、溶劑再生法。溶劑再生法比較適用于那些可逆吸附，如對(duì)高濃度、低沸點(diǎn)有機(jī)物的吸附。它的針對(duì)性較強(qiáng),往往一種溶劑只能脫附某些污染物，而超純水設(shè)備水處理過(guò)程中的污染物種類(lèi)繁多，變化不定，因此一種特定溶劑的應(yīng)用范圍較窄。

    5、電化學(xué)再生法。該方法將活性炭填充在兩個(gè)主電極之間，在電解液中，加以直流電場(chǎng)，活性炭在電場(chǎng)作用下極化，一端成陽(yáng)極，另一端呈陰極，形成微電解槽，在活性炭的陰極部位和陽(yáng)極部位可分別發(fā)生還原反應(yīng)和氧化反應(yīng)，吸附在活性炭上的污染物大部分因此而分解，小部分因電泳力作用發(fā)生脫附。該方法操作方便且效率高、能耗低，其處理對(duì)象所受局限性較小，若處理工藝完善，可以避免二次污染。