超純水設(shè)備

　　適用范圍：電子元件、集成電路、半導(dǎo)體材料、液晶顯示器等生產(chǎn)用超純水。
　　工藝流程：原水→原水箱→原水泵→機(jī)械過濾器→活性炭過濾器→阻垢/軟化裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透→純水箱→輸送泵→混床/EDI→紫外除TOC→超純化→紫外殺菌→終端過濾→用水點(diǎn)→循環(huán)回純水箱
　　產(chǎn)水水質(zhì)：電子級(jí)超純水中國國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1-1997）
　　工藝說明：
　　1、機(jī)械過濾器
　　主要用于去除水中鐵銹、泥沙、藻類、懸浮物等雜質(zhì)，降低水的濁度，使出水濁度小于0.5NTU，CODMN小于1.5mg/L，含鐵量小于0.05mg/L，SDI≤5。可通過控制閥隨時(shí)進(jìn)行反洗、正洗，以沖洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢復(fù)其過濾能力。
　　2、活性碳過濾器
　　活性炭具有極強(qiáng)的吸附過濾性能，對(duì)水中的余氯、異色、異味、有機(jī)物等具有很強(qiáng)的吸附作用。由于反滲透膜對(duì)余氯、有機(jī)物十分敏感，所以必須配置活性炭吸附余氯、有機(jī)物，使出水余氯≤0.1mg/L，SDI≤4，滿足反滲透膜的給水要求?？赏ㄟ^隨時(shí)控制閥進(jìn)行反洗，以沖洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢復(fù)其處理能力。
　　3、阻垢裝置（軟化器）
　　幾mg/L的阻垢劑就能防止幾百mg/L的碳酸鈣沉淀析出。其作用機(jī)理是阻垢劑在水中生成的長(zhǎng)鏈的陰離子容易吸附在微小的碳酸鈣晶粒上，同時(shí)這種陰離子易于和CO32?-的離子置換,這種置換發(fā)生在分散于水中的全部鈣離子層上,從而防止了碳酸鈣的析出。采用美國米頓羅計(jì)量泵自動(dòng)加藥，計(jì)量準(zhǔn)確、加藥可靠。加藥量約為3PPM。
　　目前在純水系統(tǒng)中大部分都采用阻垢裝置，因?yàn)樽韫秆b置比軟化器更可靠，同時(shí)運(yùn)行費(fèi)用低。
　　4、保安過濾器
　　在預(yù)處理后，高壓泵前配置保安過濾器，可以防止雜質(zhì)顆粒等進(jìn)入高壓泵內(nèi)而損傷高壓泵和反滲透膜。采用外松內(nèi)緊式的PP濾芯（帶骨架、強(qiáng)度好），水由外向內(nèi)過濾，可以延長(zhǎng)濾芯被堵塞的時(shí)間。上部具有排氣閥，可以防止空氣進(jìn)入泵而損壞泵，下部具有排污閥，可以隨時(shí)排掉截留的雜質(zhì)。
　　5、反滲透裝置
　　反滲透技術(shù)是目前市場(chǎng)上比較成熟的一種脫鹽技術(shù)，也是市場(chǎng)應(yīng)用比較廣泛、適用范圍比較大的水處理技術(shù)之一。能精密的濾除水中的細(xì)菌、病毒、金屬離子、鹽類、農(nóng)藥及各種致癌物質(zhì)，其工作壓力低、產(chǎn)水量大、脫鹽率高，易于維護(hù)。設(shè)計(jì)自動(dòng)沖洗裝置，可延長(zhǎng)其使用壽命。
　　6、混床裝置（EDI裝置）
　　就是將強(qiáng)酸型陽樹脂、強(qiáng)堿型陰樹脂按一定比例均勻混合在一起，用來去除水中殘余的陰、陽離子，而樹脂交換下來上的H+、OH-訊速結(jié)合成水，達(dá)到純化水的目的。當(dāng)其失效后，可通過配置的再生裝置進(jìn)行處理，然后恢復(fù)其交換能力。
　　現(xiàn)在新工藝采用EDI裝置比較多，EDI及連續(xù)電去離子，可代替混床產(chǎn)超純水，其技術(shù)先進(jìn)，不需酸堿再生，但一次性成本相對(duì)較高。
　　7、紫外除TOC
　　采用185nm波長(zhǎng)的紫外線，氧化純水中的有機(jī)化合物，從而可將純水中的總有機(jī)碳濃度降低至極低水平。
　　8、超純化裝置
　　就是采用特殊的離子拋光技術(shù)來去除水中殘余的陰、陽離子，從而使出水電阻達(dá)到18.25MΩ?CM以上。
　　9、紫外殺菌器
　　采用254nm長(zhǎng)紫外線殺菌，其壽命長(zhǎng)，殺菌效果好，而且其功耗小、不污染水質(zhì)，無殘留物，管道式安裝方便。是目前市場(chǎng)上比較先進(jìn)、有效的殺菌方法之一。
　　10、終端過濾器
　　根據(jù)需要采用相應(yīng)孔徑為的微孔濾膜，把微生物及顆粒物去除掉，保證給水無菌、無顆粒物，滿足電子用水要求。