超純水設備

　　適用范圍：電子元件、集成電路、半導體材料、液晶顯示器等生產(chǎn)用超純水。
　　工藝流程：原水→原水箱→原水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→阻垢/軟化裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透→純水箱→輸送泵→混床/EDI→紫外除TOC→超純化→紫外殺菌→終端過濾→用水點→循環(huán)回純水箱
　　產(chǎn)水水質：電子級超純水中國國家標準（GB/T11446.1-1997）
　　工藝說明：
　　1、機械過濾器
　　主要用于去除水中鐵銹、泥沙、藻類、懸浮物等雜質，降低水的濁度，使出水濁度小于0.5NTU，CODMN小于1.5mg/L，含鐵量小于0.05mg/L，SDI≤5?？赏ㄟ^控制閥隨時進行反洗、正洗，以沖洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢復其過濾能力。
　　2、活性碳過濾器
　　活性炭具有極強的吸附過濾性能，對水中的余氯、異色、異味、有機物等具有很強的吸附作用。由于反滲透膜對余氯、有機物十分敏感，所以必須配置活性炭吸附余氯、有機物，使出水余氯≤0.1mg/L，SDI≤4，滿足反滲透膜的給水要求。可通過隨時控制閥進行反洗，以沖洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢復其處理能力。
　　3、阻垢裝置（軟化器）
　　幾mg/L的阻垢劑就能防止幾百mg/L的碳酸鈣沉淀析出。其作用機理是阻垢劑在水中生成的長鏈的陰離子容易吸附在微小的碳酸鈣晶粒上，同時這種陰離子易于和CO32?-的離子置換,這種置換發(fā)生在分散于水中的全部鈣離子層上,從而防止了碳酸鈣的析出。采用美國米頓羅計量泵自動加藥，計量準確、加藥可靠。加藥量約為3PPM。
　　目前在純水系統(tǒng)中大部分都采用阻垢裝置，因為阻垢裝置比軟化器更可靠，同時運行費用低。
　　4、保安過濾器
　　在預處理后，高壓泵前配置保安過濾器，可以防止雜質顆粒等進入高壓泵內(nèi)而損傷高壓泵和反滲透膜。采用外松內(nèi)緊式的PP濾芯（帶骨架、強度好），水由外向內(nèi)過濾，可以延長濾芯被堵塞的時間。上部具有排氣閥，可以防止空氣進入泵而損壞泵，下部具有排污閥，可以隨時排掉截留的雜質。
　　5、反滲透裝置
　　反滲透技術是目前市場上比較成熟的一種脫鹽技術，也是市場應用比較廣泛、適用范圍比較大的水處理技術之一。能精密的濾除水中的細菌、病毒、金屬離子、鹽類、農(nóng)藥及各種致癌物質，其工作壓力低、產(chǎn)水量大、脫鹽率高，易于維護。設計自動沖洗裝置，可延長其使用壽命。
　　6、混床裝置（EDI裝置）
　　就是將強酸型陽樹脂、強堿型陰樹脂按一定比例均勻混合在一起，用來去除水中殘余的陰、陽離子，而樹脂交換下來上的H+、OH-訊速結合成水，達到純化水的目的。當其失效后，可通過配置的再生裝置進行處理，然后恢復其交換能力。
　　現(xiàn)在新工藝采用EDI裝置比較多，EDI及連續(xù)電去離子，可代替混床產(chǎn)超純水，其技術先進，不需酸堿再生，但一次性成本相對較高。
　　7、紫外除TOC
　　采用185nm波長的紫外線，氧化純水中的有機化合物，從而可將純水中的總有機碳濃度降低至極低水平。
　　8、超純化裝置
　　就是采用特殊的離子拋光技術來去除水中殘余的陰、陽離子，從而使出水電阻達到18.25MΩ?CM以上。
　　9、紫外殺菌器
　　采用254nm長紫外線殺菌，其壽命長，殺菌效果好，而且其功耗小、不污染水質，無殘留物，管道式安裝方便。是目前市場上比較先進、有效的殺菌方法之一。
　　10、終端過濾器
　　根據(jù)需要采用相應孔徑為的微孔濾膜，把微生物及顆粒物去除掉，保證給水無菌、無顆粒物，滿足電子用水要求。